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白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密

/gongyeshebei/dianqijixie/2019-05-14/13697.html - 2023-12-06 - 仪器仪表