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1. 中国碳化硅衬底行业研究与投资预测报告（2024版）

碳化硅产业链主要分为以下几个环节：设备和材料环节，包括晶体生长炉、MOCVD、切割设备及碳化硅粉体、石墨件等耗材；衬底和外延环节，包括导碳化硅晶体生长、衬底晶片、外延片等制造；碳化硅芯片和器件环

/gongyecailiaozhipin/xincailiao/2021-02-18/17225.html - 2023-12-06 - 新材料