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1. 中国干式真空泵行业研究与投资预测报告（2024版）

半导体产品制造过程中所需的真空系统，需要具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有毒气体等功能，因此油封式机械泵无法满足半导体产业的需要。受半导体产业的驱动，干式真空泵于上世纪80年代出现，受益于下

/gongyeshebei/dianqijixie/2021-02-18/17222.html - 2023-12-06 - 仪器仪表