关键词【一氟甲烷】的搜索结果

1. 中国一氟甲烷行业市场调研与未来预测报告（2026版）

内容简介：电子级一氟甲烷可作为氮化膜的蚀刻气体，用于3D NAND闪存芯片的制造过程，其对硅化物薄膜的蚀刻选择性好，在射频场下一氟甲烷会溶解成为氟离子进行反应性离子蚀刻。目前

/huaxuegongye/yuanyouchanpin/2024-11-04/18665.html - 2026-02-01 - 化学助剂